设计采用了最新的技术,在高压气体成分,HPC 1100允许LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子计数器对高压(30-150 psi)的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。
HPC 1100的不锈钢设计坚固耐用,可靠,几乎不需要日常维护和校准。在正常操作过程中,惰性气体可被回收-采样过程中使用100%的供气。
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